(1)工藝氣體控制設(shè)備
A:硅烷等毒腐燃爆類供氣設(shè)備GC
毒腐燃爆類氣體使用Hisptech 型全自動特氣柜,全自動觸摸屏操作(帶外吹掃、抽真空,自動緊急遠(yuǎn)程切斷、事故報(bào)警,高壓保壓鋼瓶接頭測漏,泄漏報(bào)警對 接,通風(fēng)出口等)
B:普氮等惰性類氣瓶控制架
Hisptech型雙瓶氣體全自動切換氣體控制設(shè)備,帶壓力報(bào)警,帶泄漏報(bào)警對接,帶超壓保護(hù),可遠(yuǎn)程控制,可遠(yuǎn)程切斷,遠(yuǎn)程 EMO 緊急關(guān)斷
C:終端氣體控制設(shè)備
Hisptech 型VMB(硅烷、氮?dú)猓┒M(jìn)四出,具有自動緊急遠(yuǎn)程切斷、帶抽真空、外吹掃、泄漏報(bào)警對接,通風(fēng)出口等
(2)氣體管道輸送系統(tǒng)
管道需要按照整幢樓的現(xiàn)狀及潔凈室建設(shè)及裝修綜合 情況進(jìn)行安全布置,并按照對應(yīng)工藝設(shè)備實(shí)際需要安全科學(xué)分送到潔凈室內(nèi)指定設(shè)備處。管道的布置須 使用安全且必要的雙層套管(內(nèi)層管為潔凈拋光 EP 級管,中間真空,外層做 BA 級管)中間抽真空且進(jìn)行真空監(jiān)控,所有管材及管閥件須用國際知名品牌 EP 級材料
(3)GMS 氣體管理系統(tǒng)
氣體偵測報(bào)警。通過氣房及現(xiàn)場多個(gè)國際知名品牌泄漏偵測器多點(diǎn)偵測,每個(gè)偵測器分兩級報(bào)警,報(bào)警信號在當(dāng)?shù)嘏c BMS同時(shí)觸動,當(dāng)泄漏量達(dá)到二級濃度時(shí),觸動當(dāng)?shù)嘏c BMS 的報(bào)警燈的同時(shí),聯(lián)動觸動相應(yīng)的設(shè)備 Shutdown,停止相應(yīng)氣體供氣。并與潔凈室控制系統(tǒng)聯(lián)動,打開/關(guān)閉 相關(guān)門禁,輸出相應(yīng)廣播,進(jìn)行人員疏散