(1)工藝氣體控制設(shè)備
A:毒腐燃爆類供氣設(shè)備GC
毒腐燃爆類氣體使用Hisptech 型全自動(dòng)特氣柜,全自動(dòng)觸摸屏操作(帶外吹掃、抽真空,自動(dòng)緊急遠(yuǎn)程切斷、事故報(bào)警,高壓保壓鋼瓶接頭測漏,泄漏報(bào)警對(duì) 接,通風(fēng)出口等)
B:終端氣體控制設(shè)備
Hisptech 型VMB,具有自動(dòng)緊急遠(yuǎn)程切斷、帶抽真空、外吹掃、泄漏報(bào)警對(duì)接,通風(fēng)出口等
(2)氣體管道輸送系統(tǒng)
管道需要按照整幢樓的現(xiàn)狀及潔凈室建設(shè)及裝修綜合 情況進(jìn)行安全布置,并按照對(duì)應(yīng)工藝設(shè)備實(shí)際需要安全科學(xué)分送到潔凈室內(nèi)指定設(shè)備處。管道的布置須 使用安全且必要的雙層套管(內(nèi)層管為潔凈拋光 EP 級(jí)管,中間真空,外層做 BA 級(jí)管)中間抽真空且進(jìn)行真空監(jiān)控,所有管材及管閥件須用國際知名品牌 EP 級(jí)材料
(3)尾氣處理系統(tǒng)
提供Hisptech電熱分解式+高分子WET式Scrubber,采用超高溫夾套分解式與超高壓水分子吸附處理方式,處理效率≥99.999%