加勒比久久综合久久鬼色88_久久heyzo国产一本_在线观看国产一区二区三区_亚洲日本va中文字幕久久

ENGINEERING CASE
工程案例
客戶背景

此項(xiàng)目客戶是一個(gè)科研研究單位,跟企業(yè)一起卵化的科研項(xiàng)目,使用到原子層沉積ALD設(shè)備,實(shí)驗(yàn)研究硅硼納米材料領(lǐng)域,實(shí)驗(yàn)氣體涉及到硅烷、硼烷、磷烷、三氯化硼、氨氣等危險(xiǎn)氣體和惰性氣體


客戶需求
01
所使用的氣體比較危險(xiǎn),管道系統(tǒng)需要高安全性配置
02
對(duì)特氣柜的吹掃系統(tǒng)要求比較高
03
特氣柜需雙工藝雙出口配置、需自動(dòng)啟停、自動(dòng)報(bào)警、可遠(yuǎn)程調(diào)控流量、防爆等
04
產(chǎn)生的尾氣,單獨(dú)排放到指定區(qū)域,不產(chǎn)生環(huán)保問題
案例——科研新材料特氣系統(tǒng)
解決方案

(1)工藝氣體控制設(shè)備

A:毒腐燃爆類供氣設(shè)備GC

毒腐燃爆類氣體使用Hisptech 型全自動(dòng)特氣柜,全自動(dòng)觸摸屏操作(帶外吹掃、抽真空,自動(dòng)緊急遠(yuǎn)程切斷、事故報(bào)警,高壓保壓鋼瓶接頭測漏,泄漏報(bào)警對(duì) 接,通風(fēng)出口等)

B:終端氣體控制設(shè)備

Hisptech 型VMB,具有自動(dòng)緊急遠(yuǎn)程切斷、帶抽真空、外吹掃、泄漏報(bào)警對(duì)接,通風(fēng)出口等

(2)氣體管道輸送系統(tǒng)

管道需要按照整幢樓的現(xiàn)狀及潔凈室建設(shè)及裝修綜合 情況進(jìn)行安全布置,并按照對(duì)應(yīng)工藝設(shè)備實(shí)際需要安全科學(xué)分送到潔凈室內(nèi)指定設(shè)備處。管道的布置須 使用安全且必要的雙層套管(內(nèi)層管為潔凈拋光 EP 級(jí)管,中間真空,外層做 BA 級(jí)管)中間抽真空且進(jìn)行真空監(jiān)控,所有管材及管閥件須用國際知名品牌 EP 級(jí)材料

(3)尾氣處理系統(tǒng)

提供Hisptech電熱分解式+高分子WET式Scrubber,采用超高溫夾套分解式與超高壓水分子吸附處理方式,處理效率≥99.999%

項(xiàng)目成果
657288b43d65c
657288bf9e0a0